株式会社クボタ計装

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式)_K-LE-G200

最終更新日: 2024-10-23 16:09:24.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置 製品画像

【検出】
方   式: レーザー散乱方式および正反射方式
検出サイズ: PSL50nm相当の欠陥

【レビュー機能】
顕 微 鏡: レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡

【対象基板】
種   類: 透明体を含む各種基板
サ イ ズ: 2~12inch、形状など別途相談に応じます

【装置サイズ】
外形寸法 : W1,800 x D2,100 x H1,985 (mm)
質   量: 約1200kg

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