上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
ウェハ表面欠陥検査装置(画像式)
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【検出】
方 式: 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式
検出サイズ: 0.3um(対物レンズ10倍使用時)
【対象基板】
種 類: 透明体を含む各種基板
サ イ ズ: 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます
【装置サイズ】
外形寸法 : W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm)
質 量: 約800kg
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株式会社クボタ計装