株式会社クボタ計装

ウェハ表面欠陥検査装置(画像式)_K-IM-G100

最終更新日: 2024-10-23 16:11:01.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

ウェハ表面欠陥検査装置(画像式)
ウェハ表面欠陥検査装置(画像式) 製品画像

【検出】
方   式: 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式
検出サイズ: 0.3um(対物レンズ10倍使用時)

【対象基板】
種   類: 透明体を含む各種基板
サ イ ズ: 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます

【装置サイズ】
外形寸法 : W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm)
質   量: 約800kg

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