最終更新日:
2021-10-22 13:39:43.0
今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な真空気密隔壁での接続ニーズに応えるご提案」をいたします。
レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。
高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。
He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、He漏れ率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s（1x10⁻⁹ mbar.l/s ）以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。
主なアプリケーション分野：
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー
■ 測長SEM他検査測定装置
高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいております。
基本情報
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。
主なアプリケーション分野：
高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置
高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置
気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー
■ 測長SEM他検査測定装置
耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源
小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM 他 検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ
詳しくはお問い合わせ、または資料をダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳しくはお問い合わせ、または資料をダウンロードしてください。 |
詳細情報
LEMOの気密ソケット・カプラーの特長は「主要製品の全てのラインアップで気密対応品が準備されている」ことです。超小型の同軸から100極を超える大型の多極コネクタまで、極数を問わず全てにおいて対応しています。お客様において製品改良の為に極数を変更増やすケースでも、新たな開発を行わず標準ラインアップから選択することが可能です。
標準ラインアップの温度特性は最大100℃までとなっておりますが、それ以上の高温で使用するケースにはガラスハーメティックを用いた特殊仕様にも対応いたします。
〇コネクタ内にエポキシ樹脂を充填し気密保持を実現！
気密モデルにおけるエア漏れ率(He)は、1×10⁻⁸ Pa ㎥/s
〇最高使用圧力（IEC 60512-7 test 14d）5bars～60bars（サイズによる）
※数値は、装置に取付けれたコネクタの内側と外側の最大圧力差です。
標準ラインアップの温度特性は最大100℃までとなっておりますが、それ以上の高温で使用するケースにはガラスハーメティックを用いた特殊仕様にも対応いたします。
〇コネクタ内にエポキシ樹脂を充填し気密保持を実現！
気密モデルにおけるエア漏れ率(He)は、1×10⁻⁸ Pa ㎥/s
〇最高使用圧力（IEC 60512-7 test 14d）5bars～60bars（サイズによる）
※数値は、装置に取付けれたコネクタの内側と外側の最大圧力差です。
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