【資料】気密性を保持した状態で勘合が可能。真空コネクタソリューション製品カタログ | カタログ

【資料】気密性を保持した状態で勘合が可能。真空コネクタソリューション

最終更新日: 2021-01-25 16:01:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2020/12/01
今後の装置の進化に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「多様な真空気密隔壁での接続ニーズに応えるご提案」をいたします。
レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。

高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。
He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、He漏れ率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s（1x10⁻⁹ mbar.l/s ）以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。

主なアプリケーション分野：
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー　
■ 測長SEM他検査測定装置

高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいております。

関連情報

【コネクタの用途例】気密・防水モデルコネクタ

【気密・防水モデルの仕様概要】
[例]
○HVG.0W.304.CLLP
→シリコン製ＯリングとAraldaite（エポキシ）処置の防水コネクタ
○HVG.0W.304.CLLPV
→バイトン製ＯリングとAraldaite（エポキシ）処置の気密・防水コネクタ
○HVG.0W.304.CLLS
→シリコン製ＯリングとStycast（エポキシ）処置の防水コネクタ
○HVG.0W.304.CLLSV
→バイトン製のＯリングとStycast（エポキシ）処置の気密・防水コネクタ

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【コネクタの用途例】防塵性について

【ラインナップ】
[シリーズ名：IP指定レベル]
○屋内用　B/S：IP50
○屋外用　K/E/T：IP66～IP68
○遠隔操作用　耐放射性　N：IP66～IP68
○耐水圧　03/V/W：IP68
○小型同軸　00：IP50/IP54
○高電圧　Y：IP50
○耐環境　F/M：IP67/IP68
○プラスチック　REDEL 1P：IP50/IP64
○プラスチック　REDEL 2P：IP50/IP66
○プラスチック　REDEL 3P：IP61
○プラスチック　REDEL SP：IP50
○HDTV用電気光複合　3K93C：IP68
○屋内用短胴タイプ　2C/2G：IP50

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

深水・水中コネクタ（気密モデル）

【特徴】
○深水性に優れる
○水中の超高圧の中で耐えられるように設計・製作されたコネクタ
○一般のレモコネクタとは異なり、嵌合にスクリューカップリング方式を採用
○この嵌合システムとFPM（Viton）等によるシーリング方式は、
　強靭な防水性や、耐水特性を実現する
○4つのシリーズにより、適切な水中コネクタを、お客様に提供

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

標準・室内用多極コネクタ『Bシリーズ（キー付）』

【その他の特長】
■温度範囲 -55°C - 250°C
■ハンダ、クリンプ、プリント基板コンタクト
■EMCシールド
　> 75dB at 10Mhz
　> 40dB at 1 Ghz
■IP50
■Cable ø 1 - 25 mm

【コンタクト構成】
■多極　2～64ピン
■多極、及び複合：
　→同軸　　1-14コンタクト50
　→流体　　1-4コンタクト
　→高電圧　2-21コンタクト
　→光ファイバ　1-14コンタクト
■熱電対　2-6コンタクト
■光ファイバ
■流体

【シェルタイプ】
■プラグ
　→ストレート・エルボ・固定・ブリッジ
■ソケット
　→フリー・固定・エルボ・PCBマウント・バックパネルマウンティング・真空
■カプラ

※詳しくはPDFをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【資料】真空コネクタソリューション

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。

主なアプリケーション分野：

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー　
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM　他　検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ

詳しくはお問い合わせ、または資料をダウンロードしてください。

高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

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