アクティブ磁気浮上システムおよびコントローラ一体型広域ターボ分子ポンプ
日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。
○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立
○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム
○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現
○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要
○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合
○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応
○コンパクトで場所を取らない設計
○システムを容易に統合可能
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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