高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V) カタログ
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
最終更新日：
2024-10-15 13:48:07.0製品カタログ
スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」 カタログ
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
最終更新日：
2024-10-15 13:53:21.0製品カタログ
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200) カタログ
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
最終更新日：
2024-10-15 13:51:00.0製品カタログ
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V) カタログ
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
最終更新日：
2024-10-15 13:48:59.0製品カタログ
DLCコーティング、DLC装置_カタログ
プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤモンドのように硬く、低摩擦の高密着コーティングが可能です。
最終更新日：
2024-10-15 14:08:30.0製品カタログ
着脱式 保温断熱カバー カタログ
要求仕様に合った断熱材を選択し使用して、表面温度を約60%前後(t15の断熱材で200℃→65℃）下げ、省エネ効果を発揮。
最終更新日：
2024-10-15 14:05:51.0製品カタログ
表面改質処理加工・治具洗浄 (トムコ) カタログ
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
最終更新日：
2024-10-15 14:07:41.0技術資料・事例集
