プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。
ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能です。
イオン注入を行うことで成膜イオンがワーク表面に入り込み、成膜された膜と高密着性を得ることができます。
・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる
・複雑形状のワークにも対応可能
・金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも低温での成膜が可能
・母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能で、樹脂でも膜剥がれしにくい。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能です。
イオン注入を行うことで成膜イオンがワーク表面に入り込み、成膜された膜と高密着性を得ることができます。
・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる
・複雑形状のワークにも対応可能
・金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも低温での成膜が可能
・母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能で、樹脂でも膜剥がれしにくい。
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