機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備、ワーク回転の遠心力とオゾン水、アンモニア添加水素水吐出により、検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能なユニットです。各洗浄液を切り換えて洗浄することにより、ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツールです。
RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
SPM → オゾン水
・完全室温洗浄の実現(高温プロセス不要)
・マスク上の薬液残留量減少
・廃液処理の安全化(ISO14000対策)
SC-1 → アンモニア添加水素水
・MoSiハーフトーンマスクのエッチング防止
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。