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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ) カタログ

最終更新日: 2023-03-22 15:05:50.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2022/12/28
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
「HTC/VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。

6, 8, 12インチ プロセス用の石英管に対応しており、石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置ラインナップを揃えております。
特に縦型式(VTC)についてはターンテーブ回転機構付きシャワーノズル循環フィルタリング方式を採用しており、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献します。

国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの納入実績(400台以上)があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせていただきます。

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

関連情報

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」 製品画像
「HTC/VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。

6, 8, 12インチ プロセス用の石英管に対応しており、石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置ラインナップを揃えております。
特に縦型式(VTC)についてはターンテーブ回転機構付きシャワーノズル循環フィルタリング方式を採用しており、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献します。

国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの納入実績(400台以上)があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせていただきます。

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