マール・ジャパン株式会社

【測定事例集】半導体パッケージング関連:光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』

最終更新日: 2022-08-09 16:31:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2019/12/11
微小なキズの検出や極小部位の測定に対応する高分解能。測定時間を大幅に短縮、全数検査を可能に!平面の高速測定にも好適。豊富な事例➡
高速!100mm×100mmの測定時間、約1分。
高分解能!Z方向0.02μm、X方向1μm。
クロマチックセンサーを用いた光学式3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL』の測定事例集。
<掲載測定事例/電子部品・半導体 他多数>
■測定部品例 --- □評価項目例
■ウエハー -バンプ --- □断面粗さ(R/2D) □形状・寸法 □ステップハイト □3D高さ・2Dサイズ
■マイクロビア --- □ステップハイト □断面粗さ(R/2D)
■ワイヤーボンディング --- □ステップハイト(ループ高さ) □トポグラフィーレイヤー □形状
■表面実装部品 --- □位置度、寸法 □ステップハイト
■ダイアタッチ --- □3D画像 □厚さ、高さ □最大高さ □サイズ □表面粗さ(S/3D)<ISO 25178準拠> □形状(高さ、輪郭) □ステップハイト
■フィルム --- □厚み
■携帯電話用スピーカー --- □表面粗さ(S/3D)<ISO 25178準拠>、平坦度
■ウエハ― --- □研磨 □反り

※PDF DL頁のアンケート項目はIPROS AIにより表示されています

関連情報

高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】
高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】 製品画像
【MarSurf CLの特長】
◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定
 →平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定!広範囲の測定にも。
 →光沢面、透明な表面も測定可能。
 →測定対象物にキズをつけない非接触測定。

◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能
 →微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。

◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用
 →さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。

※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

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