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【測定事例集】半導体パッケージング関連：光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』

最終更新日: 2022-08-09 16:31:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2019/12/11
微小なキズの検出や極小部位の測定に対応する高分解能。測定時間を大幅に短縮、全数検査を可能に！平面の高速測定にも好適。豊富な事例➡
高速！100mm×100mmの測定時間、約1分。
高分解能！Z方向0.02μｍ、X方向1μｍ。
クロマチックセンサーを用いた光学式3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL』の測定事例集。
＜掲載測定事例／電子部品・半導体　他多数＞
■測定部品例 --- □評価項目例
■ウエハー -バンプ --- □断面粗さ(R／2D)　□形状・寸法　□ステップハイト　□３D高さ・２Dサイズ
■マイクロビア --- □ステップハイト　□断面粗さ(R／2D)
■ワイヤーボンディング --- □ステップハイト（ループ高さ)　□トポグラフィーレイヤー　□形状
■表面実装部品 --- □位置度、寸法　□ステップハイト
■ダイアタッチ --- □3D画像　□厚さ、高さ　□最大高さ　□サイズ □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞　□形状（高さ、輪郭） □ステップハイト
■フィルム --- □厚み
■携帯電話用スピーカー --- □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞、平坦度
■ウエハ― --- □研磨　□反り

※PDF DL頁のアンケート項目はIPROS AIにより表示されています

関連情報

高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】
高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】 製品画像
【MarSurf CLの特長】
◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定
　→平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定！広範囲の測定にも。
　→光沢面、透明な表面も測定可能。
　→測定対象物にキズをつけない非接触測定。

◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能
　→微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。

◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用
　→さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。

※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

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