高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】

最終更新日: 2024-10-21 10:48:23.0

小型化・高機能化が加速する高性能電子部品の製品検査に。グローバルで支持される光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』

MarSurf CLは、形状測定やキズの検出にかかる時間を大幅に短縮でき、全数検査も実現可能です。
高分解能で、微小なキズの検出や極小部位の測定に好適。
192本のプロフィールを取得するクロマチックラインセンサーCLが
非接触での平面の高速測定を可能にします。

★電子部品・半導体の測定事例を掲載した資料を進呈中！PDFダウンロードよりご覧下さい
■測定部品例 - □評価項目例
■ウエハー -バンプ - □断面粗さ(R／2D)　□形状・寸法　□ステップハイト　□３D高さ・２Dサイズ
■マイクロビア - □ステップハイト　□断面粗さ(R／2D)
■ワイヤーボンディング - □ステップハイト（ループ高さ)　□トポグラフィーレイヤー　□形状
■表面実装部品 - □位置度、寸法　□ステップハイト
■ダイアタッチ - □3D画像　□厚さ、高さ　□最大高さ　□サイズ □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞　□形状（高さ、輪郭） □ステップハイト
■フィルム - □厚み
■携帯電話用スピーカー - □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞、平坦度
■ウエハ― - □研磨　□反り

基本情報

【MarSurf CLの特長】
◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定
　→平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定！広範囲の測定にも。
　→光沢面、透明な表面も測定可能。
　→測定対象物にキズをつけない非接触測定。

◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能
　→微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。

◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用
　→さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。

※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

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納期	お問い合わせください ※ 納期についてはお問い合わせください。
型番・ブランド名	光学式 3D表面形状測定機／ MarSurf CL
用途／実績例	【導入実績】・自動車部品　・電子部品／半導体　・鉄鋼　・切削工具・太陽光パネル　・医療用高精密部品　・レンズ　・印刷【評価項目例 3D／2D】・輪郭　・真直度　・断面積　・層厚　・反り/平坦度・形状　・体積／摩耗　・表面粗さ(R)　・断面粗さ(S) ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。　製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。

ラインナップ

型番	概要
MarSurf CL

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