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【測定事例集】エレクトロニクス&半導体編 2023:光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』

最終更新日: 2023-09-06 14:40:24.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/5/2
表面粗さ形状を高速・高精度で自動測定、解析、レポート。 光学式3D測定機『Marsurf CP/CL・CM』の最新測定事例集!
高速!100mm×100mmの測定時間、約1分。高分解能!Z方向0.02μm、X方向1μm。クロマチックセンサーを用いた光学式3D表面形状測定機『MarSurf CP/CL』と、2nmの高分解能を持つポータブル粗さ測定機『MarSurf CM mobile』の最新測定事例集です。

<掲載測定事例/エレクトロニクス&半導体編 2023春編>
■CMPパッド【研磨機上での測定、受け入れ検査・製造ライン上での検査】
■CMPパッドコンディショナー(ドレッサー)【ダイヤモンドの高さ】
■ウエハー【研磨・反り・バンプ測定】
■ウエハーレベルレンズ・ウエハーレベルオプティクス【寸法・体積測定】
■マイクロレンズアレイ【幾何形状】
■ダイアタッチ【ボンドライン厚・ダイの高さ・ミラーエッジ/ブリードアウト・高さ/輪郭解析・エポキシの高さ】
■BGAはんだボール【径・高さ・共平面性】
■マイクロビア
■ワイヤーボンディング【ボール/パッド/ワイヤの幾何形状】
■MEMS【粗さ・反り】
■表面実装部品【コンタクトの共平面性】
■フィルム【厚み】

関連情報

ポータブル光学表面粗さ測定機 MarSurf CM mobile
ポータブル光学表面粗さ測定機 MarSurf CM mobile 製品画像
■ 2 nm の高分解能 ■
測定原理:コンフォーカルマルチピンホール(CMP)技術(特許取得済)
光源:高機能LED(505/475nm)、MTBF:50、00時間
測定時間(S):2-8
寸法 mm:417×136×234(L×W×H)
電圧:100-240 V
周波数:50-60 Hz
消費電力:約50 W

※『MarSurf CM mobile』のテクニカルデータ・スペックを、
  PDFダウンロードよりご確認下さい!
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
動かせない/大型ワークの粗さ・形状測定に◆ポータブル高精度測定機
動かせない/大型ワークの粗さ・形状測定に◆ポータブル高精度測定機 製品画像
■接触式測定法と99%の相関性
 アメリカ国立標準技術研究所(NIST)規格SRM2460による測定結果より、
 接触式と当機種の測定結果の相関性=99%

■従来比 約7倍 の測定スピード
 コンフォ―カルマルチピンホール技術(CMP)を採用。
 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで測定。

測定原理:コンフォーカルマルチピンホール(CMP)技術(特許取得済)
光源:高機能LED(505/475nm)、MTBF:50,00時間
測定時間(S):2-8
寸法 mm:417×136×234(L×W×H)
電圧:100-240 V
周波数:50-60 Hz
消費電力:約50 W

※『MarSurf CM mobile』のテクニカルデータ・スペックを、
  PDFダウンロードよりご確認下さい!
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

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