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【測定事例集】レンズ(光学部品)編 2023:光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』

最終更新日: 2023-09-06 14:59:30.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/1/20
表面粗さ形状を高速・高精度で自動測定、解析、レポート。 光学式3D測定機『Marsurf CP/CL・CM』の最新測定事例集!
高速!100mm×100mmの測定時間、約1分。高分解能!Z方向0.02μm、X方向1μm。クロマチックセンサーを用いた光学式3D表面形状測定機『MarSurf CP/CL』と、2nmの高分解能で表面粗さ輪郭形状を解析できる共焦点顕微鏡『MarSurf CM』の最新測定事例集です。

<掲載測定事例/光学部品編 2023春編>
■ウエハーレベルレンズ・ウエハーレベルオプティクス(寸法・体積測定)
■マイクロレンズアレイ(幾何形状)
■車載用 LiDAR のマイクロレンズ(面精度(PV、RMS))
■マイクロレンズ(設計図に対する形状検査)
■非球面マイクロレンズ(マスターとレプリカの比較)  他

※PDF DL頁のアンケート項目はIPROS AIにより表示されます

関連情報

レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ
レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ 製品画像
<多彩なラインナップ>
卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプ※など、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。
※ポータブル型の特長
◆大型・移動できない測定物を直接測定(カットサンプル不要)
◆セッティングの手間・時間を削減

<高速測定>
従来比約7倍の測定スピード!
コンフォ―カルマルチピンホール技術(CMP)の採用により、
従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。

<多用途>
粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。
測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など
様々な用途に使用頂けます。

<接触式測定法と99%の相関性>
アメリカ国立標準技術研究所(NIST)規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99%という最も高い相関性を示しました。
レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CP/CL
レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CP/CL 製品画像
『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。
ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。
『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で
100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。


■特長1 高速測定■
従来の接触式の測定機では時間のかかる、形状測定やキズ検出。
『Marsurf CP/CL』は測定時間を大幅に短縮し、全数検査を可能にします。

■特長2 高分解能■
Z方向分解能0.02μm、X方向分可能1μmの高分解能を実現。
微小な傷の検出や極小部位の測定におすすめです。

■特長3 大型/重い測定物にも対応■
用途に合わせて選択可能な、ロングストロークのXY電動テーブルを採用。
さまざまな形状・大きさの測定物の測定が可能です。

■特長4 全自動測定・解析■
測定物のポジショニング・測定、レポートの作成を全自動で!
測定者のスキルに依存しないスピーディーで正確な測定を実現します。
ポータブル光学表面粗さ測定機 MarSurf CM mobile
ポータブル光学表面粗さ測定機 MarSurf CM mobile 製品画像
■ 2 nm の高分解能 ■
測定原理:コンフォーカルマルチピンホール(CMP)技術(特許取得済)
光源:高機能LED(505/475nm)、MTBF:50、00時間
測定時間(S):2-8
寸法 mm:417×136×234(L×W×H)
電圧:100-240 V
周波数:50-60 Hz
消費電力:約50 W

※『MarSurf CM mobile』のテクニカルデータ・スペックを、
  PDFダウンロードよりご確認下さい!
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
動かせない/大型ワークの粗さ・形状測定に◆ポータブル高精度測定機
動かせない/大型ワークの粗さ・形状測定に◆ポータブル高精度測定機 製品画像
■接触式測定法と99%の相関性
 アメリカ国立標準技術研究所(NIST)規格SRM2460による測定結果より、
 接触式と当機種の測定結果の相関性=99%

■従来比 約7倍 の測定スピード
 コンフォ―カルマルチピンホール技術(CMP)を採用。
 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで測定。

測定原理:コンフォーカルマルチピンホール(CMP)技術(特許取得済)
光源:高機能LED(505/475nm)、MTBF:50,00時間
測定時間(S):2-8
寸法 mm:417×136×234(L×W×H)
電圧:100-240 V
周波数:50-60 Hz
消費電力:約50 W

※『MarSurf CM mobile』のテクニカルデータ・スペックを、
  PDFダウンロードよりご確認下さい!
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

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