マール・ジャパン株式会社

レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CP/CL

最終更新日: 2024-10-21 10:52:05.0
レンズを高速かつ高精度に解析出来る光学式3D形状粗さ測定機■マイクロレンズアレイ■非球面マイクロレンズなど実績多数

【OPIE’23にて製品紹介予定! @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】

<光学産業のアプリケーション例>
■マイクロレンズアレイ(幾何形状)
■マイクロレンズ(設計図に対する形状検査)
■非球面マイクロレンズ(マスターとレプリカの比較)他

<特長>
光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL』は
クロマチックセンサーを用いた非接触測定機です。
表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に対応。
往復移動時の双方向スキャンによって高速な測定を実現。

高速!100mm×100mmの測定時間、約1分。
高分解能!Z方向0.02μm、X方向1μm。

基本情報

『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。
ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。
『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で
100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。


■特長1 高速測定■
従来の接触式の測定機では時間のかかる、形状測定やキズ検出。
『Marsurf CP/CL』は測定時間を大幅に短縮し、全数検査を可能にします。

■特長2 高分解能■
Z方向分解能0.02μm、X方向分可能1μmの高分解能を実現。
微小な傷の検出や極小部位の測定におすすめです。

■特長3 大型/重い測定物にも対応■
用途に合わせて選択可能な、ロングストロークのXY電動テーブルを採用。
さまざまな形状・大きさの測定物の測定が可能です。

■特長4 全自動測定・解析■
測定物のポジショニング・測定、レポートの作成を全自動で!
測定者のスキルに依存しないスピーディーで正確な測定を実現します。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 <光学産業のアプリケーション例>
■マイクロレンズアレイ(幾何形状)
■マイクロレンズ(設計図に対する形状検査)
■非球面マイクロレンズ(マスターとレプリカの比較)他

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