光沢面・透明な表面の測定に。様々な素材を光学式で3D表面形状測定

最終更新日: 2022-08-08 17:16:35.0

小型化・高機能化が加速する高性能電子部品。多様化する素材にグローバルで支持される光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』

形状測定やキズの検出にかかる時間を大幅に短縮、全数検査も実現可能です。
光沢面・透明な表面の測定に好適。高分解能で、微小なキズの検出や極小部位の測定も可能。
192本のプロフィールを取得するクロマチックラインセンサーCLが
非接触での平面の高速測定を可能にします。

★PDFダウンロードより測定事例を掲載した資料を進呈中！

掲載測定事例／電子部品・半導体他多数
■測定部品例 - □評価項目例
■ウエハー -バンプ - □断面粗さ(R／2D)□形状・寸法□ステップハイト□３D高さ・２Dサイズ
■マイクロビア - □ステップハイト□断面粗さ(R／2D)
■ワイヤーボンディング - □ステップハイト（ループ高さ)□トポグラフィーレイヤー□形状
■表面実装部品 - □位置度、寸法□ステップハイト
■ダイアタッチ - □3D画像□厚さ、高さ□最大高さ□サイズ □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞□形状（高さ、輪郭）□ステップハイト
■フィルム - □厚み
■携帯電話用スピーカー - □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞、平坦度
■ウエハ― - □研磨□反り

基本情報

【MarSurf CLの特長】
◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定
　→平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定！広範囲の測定にも。
　→光沢面、透明な表面も測定可能。
　→測定対象物にキズをつけない非接触測定。

◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能
　→微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。

◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用
　→さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。

※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※ 納期についてはお問い合わせください。
型番・ブランド名	光学式 3D表面形状測定機／ MarSurf CL
用途／実績例	【導入実績】・自動車部品　・電子部品／半導体　・鉄鋼　・切削工具・太陽光パネル　・医療用高精密部品　・レンズ　・印刷【評価項目例 3D／2D】・輪郭　・真直度　・断面積　・層厚　・反り/平坦度・形状　・体積／摩耗　・表面粗さ(R)　・断面粗さ(S) ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。　製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。

ラインナップ

型番	概要
MarSurf CL

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