レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CP/CL

最終更新日: 2023-01-20 17:47:13.0

レンズを高速かつ高精度に解析出来る光学式3D形状粗さ測定機■マイクロレンズアレイ■非球面マイクロレンズなど実績多数

【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】

＜光学産業のアプリケーション例＞
■マイクロレンズアレイ（幾何形状）
■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査）
■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）他

＜特長＞
光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL』は
クロマチックセンサーを用いた非接触測定機です。
表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に対応。
往復移動時の双方向スキャンによって高速な測定を実現。

高速！100mm×100mmの測定時間、約1分。
高分解能！Z方向0.02μｍ、X方向1μｍ。

OPIE'23出展情報

基本情報

『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。
ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。
『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で
100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。

■特長１　高速測定■
従来の接触式の測定機では時間のかかる、形状測定やキズ検出。
『Marsurf CP/CL』は測定時間を大幅に短縮し、全数検査を可能にします。

■特長２　高分解能■
Z方向分解能0.02μｍ、X方向分可能1μｍの高分解能を実現。
微小な傷の検出や極小部位の測定におすすめです。

■特長３　大型／重い測定物にも対応■
用途に合わせて選択可能な、ロングストロークのXY電動テーブルを採用。
さまざまな形状・大きさの測定物の測定が可能です。

■特長４　全自動測定・解析■
測定物のポジショニング・測定、レポートの作成を全自動で！
測定者のスキルに依存しないスピーディーで正確な測定を実現します。

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用途／実績例	＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）他

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