マール・ジャパン株式会社

レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ

最終更新日: 2024-10-21 10:52:05.0
レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡■車載用マイクロレンズ■マイクロレンズアレイ■ウエハーレベルレンズなど実績多数

【OPIE’23にて製品紹介予定! @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】

<光学産業のアプリケーション例>
■マイクロレンズアレイの幾何形状
■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定
 → 測定時間:1レンズに付き4秒
 →測定物設置後は全自動測定&全自動評価
■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度(PV、RMS)

<特長>
◆粗さ(ISO 4287、13565、25178)、トポグラフィー、
 輪郭/形状、細孔、粒子分析、欠陥検出
◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒
◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定
◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

基本情報

<多彩なラインナップ>
卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプ※など、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。
※ポータブル型の特長
◆大型・移動できない測定物を直接測定(カットサンプル不要)
◆セッティングの手間・時間を削減

<高速測定>
従来比約7倍の測定スピード!
コンフォ―カルマルチピンホール技術(CMP)の採用により、
従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。

<多用途>
粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。
測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など
様々な用途に使用頂けます。

<接触式測定法と99%の相関性>
アメリカ国立標準技術研究所(NIST)規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99%という最も高い相関性を示しました。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 <光学産業のアプリケーション例>
■マイクロレンズアレイの幾何形状
■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定
 → 測定時間:1レンズに付き4秒
 →測定物設置後は全自動測定&全自動評価
■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度(PV、RMS)

<特長>
◆粗さ(ISO 4287、13565、25178)、トポグラフィー、
 輪郭/形状、細孔、粒子分析、欠陥検出
◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒
◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定
◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

お問い合わせ

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