半導体用アプリケーション
半導体・バックグラインドプロセス制御のためのソリューションのご紹介です。
目的やご予算に応じて、ウェハーの厚さをリアルタイムに測定するための選択肢をご提案できます。
測定可能な材料は、シリコン、サファイア、GaAsのほか、パワー半導体材料のSiC、GaN、ダイヤモンドなども含まれます。
目的やご予算に応じて、ウェハーの厚さをリアルタイムに測定するための選択肢をご提案できます。
測定可能な材料は、シリコン、サファイア、GaAsのほか、パワー半導体材料のSiC、GaN、ダイヤモンドなども含まれます。
色彩共焦点式技術、厚さ測定向け非接触式測定<総合カタログ進呈>
デリケートなワークを傷つけず、破壊検査なしで高品質なワークを生産可能。ワークや環境の変動に強い完全同期システムです。
最終更新日:
2024-03-15 11:20:36.0
CCDカメラ搭載非接触工具測定システム『VTS SF-45』
トップクラスの繰り返し精度と測定性能を維持しつつ、大幅な小型化を実現。金型加工機や微細加工機などの限られたスペースに設置可能
最終更新日:
2023-01-16 09:53:04.0