マーポス株式会社

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光干渉測定器『NCG』

最終更新日: 2023-04-17 10:26:09.0
サイクルタイムを短縮!汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。

連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを
計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の
厚みを管理するように設計されています。

当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、
スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または
機械内部で使用できます。

【特長】
■目的の公差内の加工精度を保証
■サイクルタイムを短縮
■コントロールされた安定した生産を維持するための制御
■機械的な変動に対する補正
■測定結果の履歴

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■汎用性があり、簡単に使えるように設計されている
■機械によって制御される全ての各単一ユニットはセンサーのネットワークで接続できる
■独自の技術により、様々な部品(反射性が高い、面が粗い、不透明な物など)の
 測定をすることが可能
■改良したエレクトロニクスユニットにより、測定時の連続データを保存し、
 ポストプロセスの測定詳細、品質管理と機械性能評価のために使用出来る

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【代表的なアプリケーション】
■異なるシリコンタイプ、サファイアウェハーの厚さ測定
■バックグランドとラップ機上の加工プロセス
■薄膜層と厚膜層の検出
■テープの厚み管理

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