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半導体製造装置の中には耐薬品性をもつフッ素樹脂製品が多く使用されています。
主に薬液容器・配管・配管継ぎ手・タンクライニング・ 角槽・ウエハーキャリア・バルブ・ポンプ・ベローズ・ダイヤフラム・フィルターハウジングなどがフッ素樹脂製品でできています。
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- 最終更新日：2024-09-12 17:18:45.0
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