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【プロセス用オンライン分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析

最終更新日: 2022-10-14 09:48:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2022/10/14

半導体産業向け!インライン近赤外分光計(NIR)による水酸化アンモニウム、過酸化水素のモニタリング(プロセス分析計)
半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。
試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法(NIRS)によるインライン分析が有効です。

関連情報

プロセス分析計 2060 (滴定/水分/pH/イオン/吸光度)
プロセス分析計 2060 (滴定/水分/pH/イオン/吸光度) 製品画像

【主な特長】
• 複数の分析法がおこなえ数多くのアプリケーションに対応
• IP66/NEMA 4準拠のエンクロージャーで危険な環境にも対応
• 複数の経路からサンプルを採取して測定
• 高い柔軟性と拡張性
• 特注品ではなく、既製品のため、消耗品やパーツの在庫や交換も安心。

プロセス分析計 2035(滴定/水分/pH/イオン計/吸光度)
プロセス分析計 2035(滴定/水分/pH/イオン計/吸光度) 製品画像

【主な特長】
• IP66/NEMA 4準拠のエンクロージャーで危険な環境にも対応
• 高い柔軟性と拡張性
• 特注品ではなく、既製品のため、消耗品やパーツの在庫や交換も安心
• 測定結果やコンディションをモニタリングできるリモート機能

近赤外分光計 DS2500アナライザ(NIR)
近赤外分光計 DS2500アナライザ(NIR) 製品画像

近赤外分光計 DS2500 の主な特長
• 品質管理の時間と費用節約
• 食品、飼料、石油化学、製薬、化粧品など幅広い分野に対応
• 均質ならびに不均質な固体サンプルの両方に適している
• 厳しい製造環境でも、非常に正確で、再現性の高い分析結果が得られる
• 400 ~ 2,500nm の全スペクトル領域をカバー
• NIRS 工場出荷時の標準化手順により、シームレスな検量線移設が可能
• IP65対応
• LAN(ローカル)またはPC 直接接続でネットワーク対応

近赤外分析計 DS2500アナライザ(NIR)
近赤外分析計 DS2500アナライザ(NIR) 製品画像

DS2500の特長
• 固体試料にも液体試料にも対応
• 食品、飼料、石油化学、製薬、化粧品など幅広い分野に対応
• 品質管理の時間と費用節約
• 均質ならびに不均質な固体サンプルの両方に適している
• 厳しい製造環境でも、非常に正確で、再現性の高い分析結果が得られる
• 400 ~ 2,500nm の全スペクトル領域をカバー
• NIRS 工場出荷時の標準化手順により、シームレスな検量線移設が可能
• IP65対応
• LAN(ローカル)またはPC 直接接続でネットワーク対応

プロセス分析計 2060 NIR アナライザー(近赤外分析計)
プロセス分析計 2060 NIR アナライザー(近赤外分析計) 製品画像

【主な特長】
• 最大 5 つのサンプル取り組み経路 インライン分析用の NIR キャビネットごとに設置可能
• 高いサンプル処理能力による 最先端のプロセス分光計
• 危険区域定格 と 防爆電気区域分類で設置可能
• 柔軟なソフトウェア 簡単なプロセス制御

プロセス分析計 202Xシリーズ(滴定・水分・吸光度分析計)
プロセス分析計 202Xシリーズ(滴定・水分・吸光度分析計) 製品画像

【主な特長】
• コンパクトな省スペース設計:326x273 mm
• 工場環境に対応したIP66準拠のハウジング
• 試薬類の消費を最少量化できるオンライン分析計
• イーサーネット及びModbus TCP/IP接続すればリモート操作にも対応。直接USBメモリステックへ出力も可能

プロセス分析計 2060 IC(イオンクロマトグラフ)
プロセス分析計 2060 IC(イオンクロマトグラフ) 製品画像

【主な特長】
• 多用途 – 1回の分析で複数のパラメータを同時測定可能
• 高精度 – 複数種の検出器を用いて、広範な検体の精度の高い分析を実現
• 複数の経路からサンプルを採取して測定
• 自動制御 – 連続溶離液生成装置と組み合わせて、年中無休で無人運転が可能
• 複数の検出器を利用可能 – 伝導度検出、UV/VIS検出、アンペロメトリック検出

プロセス分析計 202X(滴定/pH/吸光度)
プロセス分析計 202X(滴定/pH/吸光度) 製品画像

【主な特長】
・コンパクトな省スペース設計:326x273 mm
・工場環境に対応したIP66準拠のハウジング
・試薬類の消費を最少量化できるオンライン分析計
・イーサーネット及びModbus TCP/IP接続すればリモート操作にも対応。直接USBメモリステックへ出力も可能
・7インチフルカラータッチスクリーン搭載にグラフも表示。修正や変更操作も可能

プロセス分析計 2060 ラマン アナライザー(ラマン分光計)
プロセス分析計 2060 ラマン アナライザー(ラマン分光計) 製品画像

【主な特長】
• 最大5本のプローブでインライン分析が可能
• 途切れのないキャリブレーションを実現する包括的なリファレンスチャンネル
• 自動ラマンシフトキャリブレーションによる高い再現性
• 数秒で得られる測定結果
• 環境にやさしく、コスト削減のための化学物質の使用なし
• 頑丈なNEMA 4X / IP66 準拠

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