メトロームジャパン株式会社

本社

【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理

最終更新日: 2023-03-06 09:32:11.0
ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング!

半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。
試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法(NIRS)によるインライン分析が有効です。
オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計

基本情報

詳細はダウンロードより!

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 インラインNIR分析計
用途/実績例 冊子は無料ダウンロードできます。

関連カタログ

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

メトロームジャパン株式会社 本社

製品・サービス一覧(217件)を見る