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【プロセス用オンライン分析計 技術資料】CMP工程における過酸化水素のオンラインモニタリング

最終更新日: 2023-03-02 14:52:22.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/03/02
半導体産業向け!CMT工程で使用する過酸化水素を常時モニタリングできるプロセス用オンライン分析計
ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。
過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃度をオンラインで常時監視する必要があります。このように、CMPスラリーが常に規格内であることを確認し、必要に応じて混合物を調整することで、製品の歩留まりを抑制します。

関連情報

プロセス分析計 2060 (滴定/水分/pH/イオン/吸光度)
プロセス分析計 2060 (滴定/水分/pH/イオン/吸光度) 製品画像
【主な特長】
• 複数の分析法がおこなえ数多くのアプリケーションに対応
• IP66/NEMA 4準拠のエンクロージャーで危険な環境にも対応
• 複数の経路からサンプルを採取して測定
• 高い柔軟性と拡張性
• 特注品ではなく、既製品のため、消耗品やパーツの在庫や交換も安心。
プロセス分析計 2035(滴定/水分/pH/イオン計/吸光度)
プロセス分析計 2035(滴定/水分/pH/イオン計/吸光度) 製品画像
【主な特長】
• IP66/NEMA 4準拠のエンクロージャーで危険な環境にも対応
• 高い柔軟性と拡張性
• 特注品ではなく、既製品のため、消耗品やパーツの在庫や交換も安心
• 測定結果やコンディションをモニタリングできるリモート機能
プロセス分析計 2060 NIR アナライザー(近赤外分析計)
プロセス分析計 2060 NIR アナライザー(近赤外分析計) 製品画像
【主な特長】
• 最大 5 つのサンプル取り組み経路 インライン分析用の NIR キャビネットごとに設置可能
• 高いサンプル処理能力による 最先端のプロセス分光計
• 危険区域定格 と 防爆電気区域分類で設置可能
• 柔軟なソフトウェア 簡単なプロセス制御
プロセス分析計 202Xシリーズ(滴定・水分・吸光度分析計)
プロセス分析計 202Xシリーズ(滴定・水分・吸光度分析計) 製品画像
【主な特長】
• コンパクトな省スペース設計:326x273 mm
• 工場環境に対応したIP66準拠のハウジング
• 試薬類の消費を最少量化できるオンライン分析計
• イーサーネット及びModbus TCP/IP接続すればリモート操作にも対応。直接USBメモリステックへ出力も可能
プロセス分析計 2060 IC(イオンクロマトグラフ)
プロセス分析計 2060 IC(イオンクロマトグラフ) 製品画像
【主な特長】
• 多用途 – 1回の分析で複数のパラメータを同時測定可能
• 高精度 – 複数種の検出器を用いて、広範な検体の精度の高い分析を実現
• 複数の経路からサンプルを採取して測定
• 自動制御 – 連続溶離液生成装置と組み合わせて、年中無休で無人運転が可能
• 複数の検出器を利用可能 – 伝導度検出、UV/VIS検出、アンペロメトリック検出
分析機器一覧2024《価格入りメトローム製品一覧カタログ》
分析機器一覧2024《価格入りメトローム製品一覧カタログ》 製品画像
メトローム社はイオン分析の世界的な専門メーカーです。
滴定、水分測定、イオンクロマトグラフ、電気化学分析(VA/CVS)、酸化安定性試験、pH測定、イオン測定などを行う装置を多数ご用意しています。

世界140ヵ国以上でグループ会社(40社以上)及び特定代理店を通じて事業を展開しており、世界中どこでも現地でサポートいたします。
さらに、出張修理・点検を行っており、修理に必要な部品はほとんど日本国内に在庫を持ち、万一の際の故障修理に対して迅速に対応しております。
プロセス分析計 202X(滴定/pH/吸光度)
プロセス分析計 202X(滴定/pH/吸光度) 製品画像
【主な特長】
・コンパクトな省スペース設計:326x273 mm
・工場環境に対応したIP66準拠のハウジング
・試薬類の消費を最少量化できるオンライン分析計
・イーサーネット及びModbus TCP/IP接続すればリモート操作にも対応。直接USBメモリステックへ出力も可能
・7インチフルカラータッチスクリーン搭載にグラフも表示。修正や変更操作も可能
プロセス分析計 2060 ラマン アナライザー(ラマン分光計)
プロセス分析計 2060 ラマン アナライザー(ラマン分光計) 製品画像
【主な特長】
• 最大5本のプローブでインライン分析が可能
• 途切れのないキャリブレーションを実現する包括的なリファレンスチャンネル
• 自動ラマンシフトキャリブレーションによる高い再現性
• 数秒で得られる測定結果
• 環境にやさしく、コスト削減のための化学物質の使用なし
• 頑丈なNEMA 4X / IP66 準拠
プロセス分析計 2060XRFアナライザー (蛍光X線分析計)
プロセス分析計 2060XRFアナライザー (蛍光X線分析計) 製品画像
【主な特長】
• 最大20流路のオンラインXRF分析が可能
• 高速分析 - 1分以内に結果が得られます非破壊分析 - 液体サンプル中のマグネシウム~ウランまで分析可能(z=12 to 92)
• 1つのプラットフォームで複数の分析技術を使用可能(XRFと滴定、吸光度分析)

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