半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス
シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性ガス雰囲気中などで優れた性能を発揮。
最終更新日：
2022-07-25 11:10:37.0
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