【分析事例】酸化物半導体 カタログ一覧

【分析事例】2次元検出器を用いたX線回折測定

XRD：X線回折法

最終更新日： 2023-03-29 17:03:44.0技術資料・事例集

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【分析事例】酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価

酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価

最終更新日： 2016-02-15 14:51:59.0技術資料・事例集

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【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価_C0002

XPSを用いたウエハ表面数nmの膜厚の見積もり

最終更新日： 2021-05-19 11:42:12.0技術資料・事例集

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【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

最終更新日： 2016-10-21 13:41:16.0技術資料・事例集

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【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

最終更新日： 2016-09-30 09:20:46.0技術資料・事例集

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【分析事例】電子回折の種類と特徴

TEM：透過電子顕微鏡法

最終更新日： 2016-10-31 11:29:57.0

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【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

XPS：X線光電子分光法

最終更新日： 2023-03-29 16:59:03.0技術資料・事例集

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【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

低ダメージで表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

最終更新日： 2022-10-13 09:57:44.0技術資料・事例集

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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価_C0279

XPSを用いたウエハ表面数nmの膜厚の見積もり

最終更新日： 2021-05-31 18:43:12.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO膜の化学状態評価_C0331

XPS・UPSを用いた結合状態・電子状態評価

最終更新日： 2021-06-08 17:09:26.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO膜の局所結晶構造解析_C0330

電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価

最終更新日： 2021-06-08 16:51:58.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO膜へのTi拡散評価_C0329

SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定

最終更新日： 2021-06-08 16:41:24.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO膜中H濃度評価_C0328

IGZO膜中Hについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能

最終更新日： 2021-06-02 18:50:49.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO薄膜のXAFSによる局所構造解析

酸化物半導体中、金属元素の価数・配位数・構造秩序性の評価

最終更新日： 2016-03-11 12:48:34.0技術資料・事例集

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【分析事例】薄膜・バルク・粉末材料の組成・不純物分析_C0314

ICP-MSによるIGZOの主成分及び金属不純物元素の定量分析

最終更新日： 2021-06-01 18:38:50.0技術資料・事例集

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【分析事例】IGZO　薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

最終更新日： 2016-08-25 09:48:08.0技術資料・事例集

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【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価_C0462

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

最終更新日： 2023-04-13 16:12:41.0技術資料・事例集

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【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

TDS：昇温脱離ガス分析法

最終更新日： 2017-04-06 13:05:46.0技術資料・事例集

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【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

最終更新日： 2017-08-11 14:09:18.0技術資料・事例集

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【分析事例】GaNの部分状態密度測定_C0511

価電子帯・ギャップ内準位について元素別の情報が得られます

最終更新日： 2021-06-10 16:03:57.0技術資料・事例集

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【分析事例】X線吸収・発光分光によるバンド構造評価

材料の価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位の詳細な情報が得られます

最終更新日： 2018-03-22 16:25:17.0技術資料・事例集

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【分析事例】界面および深さ方向分解能について

SIMS：二次イオン質量分析法

最終更新日： 2018-07-09 14:37:46.0技術資料・事例集

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【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

最終更新日： 2018-09-13 14:52:58.0技術資料・事例集

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【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

最終更新日： 2019-02-19 10:08:18.0技術資料・事例集

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【分析事例】AFMデータ集

AFM :原子間力顕微鏡法

最終更新日： 2019-02-19 13:11:29.0技術資料・事例集

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【分析事例】Sn酸化物に対する還元処理の検証

～XPSと計算シミュレーションの比較から～ 価電子帯スペクトルからの電子状態解析

最終更新日： 2019-03-06 16:51:26.0技術資料・事例集

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【分析事例】GaN膜の組成・結合状態分析_C0381

X線源を選択することで目的に合わせた評価が可能です

最終更新日： 2021-06-10 14:02:07.0技術資料・事例集

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【分析事例】X線によるZn系バッファ層の複合評価

組成・結合状態・構造・密度の評価が可能

最終更新日： 2019-03-25 17:00:30.0技術資料・事例集

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【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

最終更新日： 2019-03-25 17:01:26.0技術資料・事例集

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【分析事例】STEM・EDXデータと像シミュレーションによる評価

STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます

最終更新日： 2019-03-27 14:37:16.0技術資料・事例集

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