［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
EDXは、電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です
最終更新日：
2016-02-18 13:25:02.0製品カタログ
【測定法】電子顕微鏡観察・分析
◆AES（オージェ電子分光法）
◆SEM（走査電子顕微鏡法）
◆EBIC（電子線誘起電流法)
◆EBSD（電子後方散乱回折法）
◆EDX（エネルギー分散型X線分光法）
◆EPMA（電子線マイクロ分析法）
◆TEM（透過電子顕微鏡法）
◆EELS（電子エネルギー損失分光法)
◆SIM（走査イオン顕微鏡法)
◆SEM（走査電子顕微鏡法）
◆EBIC（電子線誘起電流法)
◆EBSD（電子後方散乱回折法）
◆EDX（エネルギー分散型X線分光法）
◆EPMA（電子線マイクロ分析法）
◆TEM（透過電子顕微鏡法）
◆EELS（電子エネルギー損失分光法)
◆SIM（走査イオン顕微鏡法)
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することにより、物質の構成元素や電子構造を分析する方法です
最終更新日：
2019-07-30 09:23:35.0製品カタログ
［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です
最終更新日：
2019-07-29 14:29:47.0製品カタログ
［SEM］走査電子顕微鏡法
電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です
最終更新日：
2018-09-13 14:05:42.0製品カタログ
［AES］オージェ電子分光法
電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です
最終更新日：
2019-07-29 14:28:57.0製品カタログ
［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像して高倍率で観察する手法です
最終更新日：
2019-08-16 10:09:51.0製品カタログ
【分析事例】二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価
容量低下の要因となるSEI被膜のマッピング評価・化学状態評価が可能です。
最終更新日：
2022-10-13 09:56:48.0製品カタログ
【分析事例】バッテリー正極材の活物質抽出およびデータ解析_C0690
深層学習×データ解析によりSEM像から活物質の粒径を求めました
最終更新日：
2023-03-09 14:27:49.0製品カタログ
【分析事例】ノーマリーオフ型 GaN HEMT 二次元電子ガス層評価_C0702
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
最終更新日：
2023-11-30 11:55:59.0技術資料・事例集
【分析事例】トレンチ型Si-MOSFETのIDSSリーク箇所の複合解析_C0707
デバイスの不良箇所特定から要因解析までワンストップでご提供
最終更新日：
2024-04-04 10:18:18.0技術資料・事例集
【測定法】質量分析法
【測定法】光電子分光法
【測定法】電子顕微鏡観察・分析
【測定法】振動分光
【測定法】X線回折関連
【測定法】SPM関連
【測定法】故障解析
【測定法】そのほかの測定法
【加工法・処理法】
その他のサービス・サポート情報
【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】光デバイス
【分析事例】太陽電池
【分析事例】燃料電池
【分析事例】ディスプレイ
【分析事例】酸化物半導体
【分析事例】パワーデバイス
【分析事例】電子部品
【分析事例】二次電池
【分析事例】照明
【分析事例】製造装置・部品
【分析事例】バイオテクノロジ
【分析事例】化粧品
【分析事例】食品
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【分析事例】日用品
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