一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価_C0002

最終更新日: 2021-05-19 11:42:12.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2321/4/2
XPSを用いたウエハ表面数nmの膜厚の見積もり
シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります(式1)。

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