【分析手法一覧】
※こちらに記載の無い手法についても、ご相談承ります。
『測定法』
○質量分析法
SIMS 二次イオン質量分析法
TOF-SIMS 飛行時間型二次イオン質量分析法
ICP-MS 誘導結合プラズマ質量分析法
ほか
○光電子分光法
XPS X線光電子分光法
UPS 紫外光電子分光法
○電子顕微鏡観察・分析
AES オージェ電子分光法
SEM 走査電子顕微鏡法
EBIC 電子線誘起電流法
ほか
○振動分光
FT-IR フーリエ変換赤外分光法
Raman ラマン分光法
○X線回折関連
XRD X線回折法
SAXS X線小角散乱法
XRR X線反射率法
○SPM関連
AFM 原子間力顕微鏡法
SCM 走査型静電容量顕微鏡法
SSRM 走査型広がり抵抗顕微鏡法
○その他の測定法
白色干渉計測法
TG-DTA-MS,DSC 熱分析
EMS エミッション顕微鏡法
『加工法・処理法』
○FIB法 集束イオンビーム加工
○SSDP用加工 基板側からの測定用加工
ほか
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
※こちらに記載の無い手法についても、ご相談承ります。
『測定法』
○質量分析法
SIMS 二次イオン質量分析法
TOF-SIMS 飛行時間型二次イオン質量分析法
ICP-MS 誘導結合プラズマ質量分析法
ほか
○光電子分光法
XPS X線光電子分光法
UPS 紫外光電子分光法
○電子顕微鏡観察・分析
AES オージェ電子分光法
SEM 走査電子顕微鏡法
EBIC 電子線誘起電流法
ほか
○振動分光
FT-IR フーリエ変換赤外分光法
Raman ラマン分光法
○X線回折関連
XRD X線回折法
SAXS X線小角散乱法
XRR X線反射率法
○SPM関連
AFM 原子間力顕微鏡法
SCM 走査型静電容量顕微鏡法
SSRM 走査型広がり抵抗顕微鏡法
○その他の測定法
白色干渉計測法
TG-DTA-MS,DSC 熱分析
EMS エミッション顕微鏡法
『加工法・処理法』
○FIB法 集束イオンビーム加工
○SSDP用加工 基板側からの測定用加工
ほか
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。