一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

[IP法]Arイオン研磨加工

最終更新日: 2016-02-18 11:02:35.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

IP(イオンポリッシュ)法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です
IP法は、エネルギー及び方向を揃えたイオンビームを試料に照射したときに試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象を利用して、試料表面を削り取る方法です。
イオン種は通常試料との化学反応の心配のない希ガス(MSTではAr)が用いられます。加工面のAES分析では遮光板成分(Ni,P)は検出下限以下でした。

■特徴
・広域(約500μm~1mm)断面加工が可能
・機械研磨ダメージの影響がない
・表面汚染がほどんどない
・雰囲気制御、冷却加工が可能

関連情報

[IP法]Arイオン研磨加工
[IP法]Arイオン研磨加工 製品画像
カードエッジコネクタについてIP加工後、反射電子像観察を行いました。
IP法と機械研磨法で作製した断面の反射電子像観察を行いました。
IP法ではCu結晶粒が明瞭に観察され、研磨キズもありません。

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