一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】微小部XRD分析による結晶構造評価_C0246

最終更新日: 2023-03-29 11:33:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/3/29
微小領域のXRD測定が可能
照射X線をΦ400μmに絞ってXRD測定を行うことで、面全体ではなく所定の領域を狙って結晶情報を取得した事例をご紹介します。
プリント基板サンプルのXRD測定の結果、測定箇所(1)~(3)全てでCuとBaSO4が検出され、電極である測定箇所(1)ではAu由来のピークが検出されました。XRFによる測定結果とよく一致しています。
このように組成や結晶性の異なる数百μmの領域を狙って結晶構造を同定することが可能です。

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