一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析_C0236

最終更新日: 2023-03-28 15:12:24.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/03/28
薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能
CIGS薄膜太陽電池の高性能化を目指した開発において、光吸収層の成膜プロセスの条件最適化が必要とされており、CIGS組成の組成分布の制御が重要になっています。
成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。

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