一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析_C0269

最終更新日: 2023-04-19 17:49:06.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/7
前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能
積層構造試料のSIMS分析において、試料表面から深い位置に着目層がある構造では、着目層で深さ方向分解能の劣化や上層の濃度分布の影響を受ける懸念があります。このような場合には、前処理により上層を除去してから分析することが有効です。本資料では、 InP/InGaAs系 SHBT(Single Heterojunction Bipolar Transistor)試料について、選択的かつ段階的に層を除去した例を示します。

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