一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】IGZO膜中H濃度評価_C0328

最終更新日: 2021-06-02 18:50:49.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/9
IGZO膜中Hについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能
IGZO膜はディスプレイ用TFT材料などに利用される酸化物半導体材料です。
IGZO膜中のH濃度に応じてキャリア濃度が変化して電気特性が変動するため、IGZO膜を用いたデバイス特性および信頼性評価には膜中のH濃度を精度良く測定する必要があります。
SIMSを用いて加熱条件の異なるIGZO膜中のH濃度を評価した事例をご紹介します。

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