一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】IGZO膜へのTi拡散評価_C0329

最終更新日: 2021-06-08 16:41:24.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/9
SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定
IGZO膜はディスプレイ用TFT材料などに利用される酸化物半導体材料です。IGZO膜中に金属元素が拡散するとTFT特性が劣化することが懸念されるため、IGZO膜を用いたデバイス特性および信頼性評価には膜中の金属濃度を精度良く測定する必要があります。
SSDP-SIMSを用いて金属電極の反対側からIGZO膜中のTi濃度を評価した事例をご紹介します。

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