一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】IGZO膜の局所結晶構造解析_C0330

最終更新日: 2021-06-08 16:51:58.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/14
電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価
IGZO膜はディスプレイ用TFT材料などに利用される酸化物半導体材料です。
薄膜中の結晶構造の有無はTFT特性や信頼性に影響する可能性があり、デバイス中における局所的な結晶評価が必要になります。
TEMの電子回折測定を用いてIGZO膜中の結晶構造を連続的に評価した事例をご紹介します。

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