最終更新日:
2021-06-10 13:51:24.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2021/4/16
XPSのC1s波形解析からの分離
高硬度・高耐摩耗性等の特長から、幅広い分野で活用されているDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜は、グラファイトとダイヤモンドの中間に位置した材料であり、膜中のsp2(グラファイト構造)とsp3(ダイヤモンド構造)を分離して求められるsp2/(sp2+sp3)比は、膜の特性を決定する重要な要因の一つとなります。
このsp2/(sp2+sp3)比について、XPSのC1sスペクトルを波形解析することで評価した例をご紹介します。
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