一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】GaN膜の組成・結合状態分析_C0381

最終更新日: 2021-06-10 14:02:07.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/16
X線源を選択することで目的に合わせた評価が可能です
LEDやパワーデバイスに用いられるGaN膜について、XPSを用いて組成・結合状態を評価した例を紹介します。成膜条件や表面処理等により、組成や結合状態がどのように変わるのかを把握しておくことは、プロセス管理等に有効です。
評価の際は、目的に応じて使用するX線を適切に選択することが重要です。着目ごとの測定条件を併せてご紹介します。

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