一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】溶液中の金属量分析_C0552

最終更新日: 2021-06-14 16:13:18.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/23
純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です
ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度領域はpptオーダーから主成分レベルまで幅広く対応することが可能です。本資料では市販されている各溶液に含まれる金属量を分析した事例をご紹介します。

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