一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁評価

最終更新日: 2019-03-27 13:59:54.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価
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