一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】Si酸化膜の膜厚評価_C0022

最終更新日: 2021-04-02 16:35:25.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/4/2
酸素量(O面密度)からSi酸化膜の膜厚を算出
ゲート絶縁膜の成膜プロセス、酸化膜のエッチングプロセスなどを最適化するため、界面の酸化膜厚を数値で評価することは不可欠です。
ここでは、SIMSを用いてPoly-Si膜中の不純物深さ方向分析を行うのと同時に測定した酸素(O)の情報から、界面の酸化膜厚を評価した事例を紹介します。TEMとSIMSそれぞれから計算された膜厚には相関があります。

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