![【分析事例】撥水箇所の成分分析 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/794/2000797299/IPROS96736585155719662700.png?w=140&h=140)
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カタログ発行日:2023/2/3 TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です 密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。TOF-SIMSは通常500μm角までの測定視野となりますが、ステージを動かしながら測定することで、広域の分布評価を行えます。
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