最終更新日:
2024-02-27 16:18:42.0
金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ(特許技術)を用いてウェハ洗浄液の着脱作業を自動化します
電子材料製造工場で、原料ラインから移動槽間と、移動槽から充填機への間の基板の洗浄液投入作業を自動化しました。
接液部がすべてPTFEの自動着脱コネクタ(カプラ)を開発し、金属イオンの溶出を0にしました。
また、内弁がPTFE一体成形のため洗浄性が非常に高いです。
※Body部はPVCでの製作も可能です。
半導体業界だけでなく、製薬業界等の強酸(塩酸)ラインで配管の自動切換装置にもご使用頂いております。
基本情報
口径や仕様:お客様ごとにオーダーメイドします。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ・半導体業界で上工程 ※金属イオン溶出を嫌うライン ・薬品業界での上工程 ※塩酸などで耐腐食性が求められるライン ・化学業界での上工程 他 |
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ナブテスコサービス株式会社 産業機械部