ナラサキ産業株式会社

メカトロソリューション部 機能材料課

半導体製造装置用部品に特化!海外製セラミックス

最終更新日: 2024-04-02 16:37:46.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

静電チャック、ピンチャックなど 半導体製造装置用部品に特化した加工品を海外生産でご提案致します!あ
【対応領域】
材料提案から対応可能。
※ESCはパターン製作も対応可能です!

【対応材質】
アルミナ(Al2O3) ジルコニア(ZrO2) イットリア(Y2O3)
窒化アルミ(AlN) 炭化ケイ素(SiC) 窒化ケイ素(SI3N4)
などの対応が可能です。

【対応サイズ】
8インチ、12インチサイズ
上記サイズの装置部品の対応が可能です。

【数量ロット】
1個~量産対応可能

【備考】
グリーン加工からも対応可能です。
検査装置も充実しており、自信をもって品質対応致します。

関連情報

半導体製造装置用部品に特化! 海外製セラミックのご紹介
半導体製造装置用部品に特化! 海外製セラミックのご紹介 製品画像
【対応領域】
材料提案から対応可能。
※ESCはパターン製作も対応可能です!

【対応材質】
アルミナ(Al2O3) ジルコニア(ZrO2) イットリア(Y2O3)
窒化アルミ(AlN) 炭化ケイ素(SiC) 窒化ケイ素(SI3N4)
などの対応が可能です。

【対応サイズ】
8インチ、12インチサイズ
上記サイズの装置部品の対応が可能です。

【数量ロット】
1個~量産対応可能

【備考】
グリーン加工からも対応可能です。
検査装置も充実しており、自信をもって品質対応致します。

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