【対応領域】
材料提案から対応可能。
※ESCはパターン製作も対応可能です!
【対応材質】
アルミナ(Al2O3) ジルコニア(ZrO2) イットリア(Y2O3)
窒化アルミ(AlN) 炭化ケイ素(SiC) 窒化ケイ素(SI3N4)
などの対応が可能です。
【対応サイズ】
8インチ、12インチサイズ
上記サイズの装置部品の対応が可能です。
【数量ロット】
1個~量産対応可能
【備考】
グリーン加工からも対応可能です。
検査装置も充実しており、自信をもって品質対応致します。
材料提案から対応可能。
※ESCはパターン製作も対応可能です!
【対応材質】
アルミナ(Al2O3) ジルコニア(ZrO2) イットリア(Y2O3)
窒化アルミ(AlN) 炭化ケイ素(SiC) 窒化ケイ素(SI3N4)
などの対応が可能です。
【対応サイズ】
8インチ、12インチサイズ
上記サイズの装置部品の対応が可能です。
【数量ロット】
1個~量産対応可能
【備考】
グリーン加工からも対応可能です。
検査装置も充実しており、自信をもって品質対応致します。