ナラサキ産業株式会社

メカトロソリューション部 機能材料課

半導体製造装置用部品に特化! 海外製セラミックのご紹介

最終更新日: 2024-07-12 11:29:19.0
静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見! 海外生産による高精度、高品質のセラミック部品をご提案します!

当社の海外サプライヤーでの生産により、お客様の部品調達のご不安を解致します!
高精度/高品質の半導体製造装置用のセラミック部品を材料込みでご提案致します。

☆8インチ、12インチサイズ対応可能です。
☆国内装置メーカー様への納入実績は豊富に御座います。

基本情報

【対応領域】
材料提案から対応可能。
※ESCはパターン製作も対応可能です!

【対応材質】
アルミナ(Al2O3) ジルコニア(ZrO2) イットリア(Y2O3)
窒化アルミ(AlN) 炭化ケイ素(SiC) 窒化ケイ素(SI3N4)
などの対応が可能です。

【対応サイズ】
8インチ、12インチサイズ
上記サイズの装置部品の対応が可能です。

【数量ロット】
1個~量産対応可能

【備考】
グリーン加工からも対応可能です。
検査装置も充実しており、自信をもって品質対応致します。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 半導体製造装置用部品
・ESC
・ピンチャック
など

国内装置メーカー様への実績多数御座います。

お問い合わせ

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