最終更新日:
2022-03-31 20:24:32.0
半導体製造装置での耐プラズマ・耐腐食・石英部品の長寿命化、溶融金属・電子部品・フェライト焼成用セッター、るつぼ等濡れ性向上。
MLCCやフェライト部品など焼成用各種セッター、半導体製造装置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。
一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、
各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。
【特徴】
■独自ディッピング技術により形状自由度
■基材との密着性大
■膜厚均一性大
■膜表面における面粗度大
※詳細は下部資料に記載しております。
お気軽にお問合せ下さい。
基本情報
お客様のテーマ、仕様に応じてご提案致します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【実績／開発ターゲット】 ・半導体製造装置用部品 耐プラズマ、耐腐食等部品高寿命化 ・MLCC焼成用セッター セッター高寿命化、相性 ・フェライト部品用セッター セッター高寿命化、反り防止、相性 ・その他各種セッター ・等方性黒鉛へのコーティング ・金属溶解用坩堝内面へのコーティング 濡れ性、高寿命化、不純物流出防止 ・金属プレス機等内炉用搬送部材 詳細はお気軽にお問合せ下さい。 |
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ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
