ウエット洗浄装置
高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。
【特徴】
○表面の汚染物質の付着が少なくなる
○パーティクルが発生しにくい
○Siウェハのエッジのダメージが減少する
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
○表面の汚染物質の付着が少なくなる
○パーティクルが発生しにくい
○Siウェハのエッジのダメージが減少する
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
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日本フッソ工業株式会社