株式会社西野製作所

【オーダーメイド 専用機製造事例】アニール装置

最終更新日: 2024-03-07 16:59:32.0
シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例をご紹介

半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。

既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。

チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で
ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持し、ストッカー部
のみ取出し可能とする構造にすること、掃除用マドを配置し掃除しやすく
したいとのご要望がありました。

既存機の改造で小型化、軽量化を実現し、要望にお応えしました。

【事例概要】
■課題
・ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持する
・ストッカー部のみ取出し可能とする構造にする
・掃除用マドを配置し掃除しやすくする

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社西野製作所

製品・サービス一覧(27件)を見る