【その他の特長】
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
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