日酸TANAKA株式会社

産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

最終更新日: 2022-01-28 20:26:20.0
一次側高圧用中流量機種!一次減圧設備に広くご使用いただいております

『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を
頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。

接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、
非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、
出荷検査を全数に実施しています。

腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が
ございます。お問い合わせください。

【特長】
■一次側高圧用中流量機種
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには
 メタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■シリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【その他の特長】
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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