【仕様】
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能
■最大4チャンバーまで増設可能
■上位通信対応可能
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能
■最大4チャンバーまで増設可能
■上位通信対応可能