日精株式会社

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枚葉式ウェット処理装置(量産用)

最終更新日: 2018-05-08 16:37:18.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高圧ジェットを使用した枚葉(スピンナー)型リフトオフ装置
通常ノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けメタルリフトオフ処理装置。
リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※リフトオフだけでなく、洗浄やレジスト剥離装置としても転用が可能です。

関連情報

量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像
【仕様】
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能
■最大4チャンバーまで増設可能
■上位通信対応可能

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